i04 Femto-Indenterは、マイクロスケールからナノスケールまでの機械的・摩擦学的特性を測定するための、高分解能なナノメカニカルテストシステムです。世界初のMEMSベースのナノインデンターとして、i04はこれまでにない高分解能、再現性、および動的安定性を提供し、金属、セラミックス、コーティング、そして柔軟な微細構造の試験に最適化されています。応用例としては、硬度や弾性率の測定、特性マッピングのほか、オプションモジュールとしてスクラッチ試験、SPMイメージング、高温分析が可能です。

「iX05」は、高温、低温、高ひずみ速度、液体環境といった実環境下で局所的な機械的特性を測定するために設計されたオペランド・ナノインデンターです。従来のナノインデンターは実験室の環境に最適化されていましたが、実際の用途では極限環境を伴うことがよくあります。iX05は、こうした実際の条件下で材料を試験するために最適化されています。MEMSベースの技術、高速制御エレクトロニクス、環境制御機能を組み合わせることで高い分解能と速度を実現したiX05は、高度な機械的特性評価を行うための究極のツールです。

NMT04は、SEM（走査型電子顕微鏡）やFIB（集束イオンビーム）でのナノインデンテーションをリードする製品です。MEMSベースの力センサーを搭載しており、マイクロスケールからナノスケールでの材料試験において、他に類を見ない高精度な測定を実現します。金属、薄膜、セラミックス、メタマテリアルなどの試験に最適で、マイクロ圧縮、ナノワイヤーの引張試験、マイクロビームの破壊解析に対応しています。コンパクトな設計のため、ほとんどのSEMに搭載可能で、EBSDやEDSといった他の分析手法と組み合わせて統合的な解析を行うことができます。