Oxford Instruments Group グループの一員
展開
アプリケーション

STEM/EBSDを用いた同時機械的試験

アプリケーションの概要


NMT04は、SEM(走査型電子顕微鏡)内にある EBSD(電子後方散乱回折)や STEM(走査型透過電子顕微鏡)検出器とシームレスに連携するように特別に設計されています。

オープンな測定フレームにより変形中の試料を鮮明に観察できるため、機械的試験中の試料の微細構造の変化をリアルタイムで分析できます。これにより、SEM での表面現象の観察に加え、EBSD、TKD、STEM による特性評価と関連付けて材料の応力-ひずみ応答を研究することが可能です。その結果、相変態や転位のダイナミクスについて、これまでにない定量的な知見が得られます。

試料表面にパターンを付与することで、デジタル画像相関(DIC)を用いた機械的解析中に、材料内部の応力をモニタリングすることが可能です。また、マイクロ引張、ピラー圧縮、またはカンチレバー曲げ試験中に in-situ EBSD 測定を組み合わせることで、変形中の動的な相転移やひずみ局在をリアルタイムでモニタリングし、定量化することができます。さらに、不純物スケールでの塑性変形を可視化するためには、電子透過試料や薄膜のマイクロ引張試験を TKD(透過型菊池回折)や STEM(走査型透過電子顕微鏡)解析と並行して実施することも可能です。

アプリケーション事例

応用事例

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