マイクロエレクトロメカニカルシステム（MEMS）の試験

マイクロエレクトロメカニカルシステム（MEMS）は、電気部品と機械部品を一つのチップに統合したもので、主にセンサーやアクチュエーターとして使われます。MEMS の性能と信頼性を保証するためには、電気的特性と機械的特性の両方を評価する必要があります。